Во многих областях применения электронных модулей, например, в медицинской, космической и авиационной технике, военной, автомобильной и энергетической промышленности, приходится отказываться от использования припоев с флюсом, ведь они становятся причиной ухудшения качества, требуя дополнительных усилий при очистке поверхностей. Типичными примерами таких электронных модулей могут служить микросистемы, датчики или гибридные СВЧ-схемы. Выход из данной ситуации – вакуумная пайка. В этом случае в качестве преформ в основном применяются готовые припои. Эта технология позволяет снизить температуру плавления и исключить окисление в ходе всего процесса. Помимо этого, в качестве восстановителей могут использоваться, например, формир-газ или муравьиная кислота. Под их воздействием оксидные пленки на спаиваемых поверхностях разрушаются. При работе с проблемными материалами, например никелем, этого часто оказывается недостаточно. Дополнительной сложностью являются четко заданные в термопрофилях фазы нагрева и охлаждения. Критичные процессы пайки (корпусирование микросхем, упаковка компонентов и т. д.) подчиняются строгим требованиям, предъявляемым к качеству паяного соединения, которые вакуумная пайка удовлетворить не способна. Одним из возможных решений этой проблемы является предварительная обработка поверхностей плазмой, которая может удалить с них окисления. Преимущества предварительной обработки поверхностей при помощи плазмы:
- увеличение поверхностного натяжения за счет выравнивания микронеровностей;
- удаление оксидного слоя (при использовании водорода) и устранение органических загрязнений (при использовании кислорода).
- улучшение смачиваемости и растекаемости;
- стандартизация процесса пайки за счет улучшения однородности паяного соединения;
- упрощение процесса пайки с более высокой технологической осуществимостью;
- возможность «регенерации» подержанных конструктивных элементов (крышки, корпусы, основания печатных плат).
При изготовлении электронных компонентов преимущественно используется высокочастотная плазма в мегагерцовом (RF-генератор) или гигагерцевом диапазоне (MW-генератор). Ввиду способности к оптимальному удалению пустот при обработке спаиваемых поверхностей плазмой для ионизации используются частоты магнетронов в диапазоне 2,43 ГГц. Предпочтение отдается формир-газу, содержащему 60 % водорода и 40 % аргона. Поскольку речь идет о безэлектродной плазме, созданной при помощи магнетрона, с частотой 2,43 ГГц, а сам генератор находится вне приемника, то проблема повреждений компонентов за счет ускоряющихся ионов отсутствует. Обработка поверхностей электронных узлов плазмой при частоте в 2,43 ГГц до начала мягкой пайки увеличивает поверхностное натяжение обработанных поверхностей и улучшает смачиваемость. Кроме того, удаляются оксидные пленки, препятствующие смачиванию. Повреждения компонентов, вызванные плазмой, маловероятны. Таким образом, этот метод обеспечивает возможность отказа от флюса при мягкой пайке.
Технические характеристики:
Размер камеры(ШхВхГ) | 320х320х240(мм), 24 литра |
Генератор плазмы | Микроволновый/2,45ГГц. Мощность программно регулируемая 0-600Вт |
Питание | 230В/16А |
Вес | 100кг |
Размеры системы (ШхВхГ) | 645х962х515 (мм) |
Дверь камеры | Сдвигаемая вверх, для облегчения доступа к камере |
Подача газа | До 3-х магистралей с датчиками массового расхода газа с возможностью программирования |
Управление | Сенсорный экран Windows 7 |
Измерение давления | Датчик Пирани |
Охлаждение генератора плазмы | Воздушное |
Вакуумный насос | Leybold, 8м3/час |
Система плазменной очистки PS25UG
Технические характеристики:
Размер камеры(ШхВхГ) | 320х320х240(мм) |
Генератор плазмы | Микроволновый/2,45ГГц. Мощность программно регулируемая 0-600Вт |
Питание | 230В/16А |
Вес | 150кг |
Размеры системы (ШхВхГ) | 660х1775х521 (мм) |
Дверь камеры | Сдвигаемая вверх, для облегчения доступа к камере |
Подача газа | До 3-х магистралей с датчиками массового расхода газа с возможностью программирования |
Управление | Сенсорный экран Windows 7 |
Измерение давления | Датчик Пирани |
Охлаждение генератора плазмы | Воздушное |
Вакуумный насос | Leybold, 8м3/час |