Установка Prism 500 представляет собой 3-х координатный робот и предназначена для нанесения покрытий широкого спектра назначений в лабораторных условиях или на производстве. Во всех системах нанесения покрытий USI реализована технология ультразвукового распыления без применения форсунок, что обеспечивает более тонкое и точное нанесение покрытия, чем обычные распылительные сопла и каплеструйные технологии или пленочные и рулонные покрытия.
Преимущества технологии:
- тонкие покрытия без дефектов;
- субмикронные толщины покрытия;
- использование материала на 95...99%.
Применение:
- производство полупроводников;
- производство топливных ячеек;
- производство дисплеев;
- медицина;
- производство солнечных панелей (фотоэлементов);
- фотолитография (нанесение фоторезиста).
Стандартная комплектация:
- привода X-Y-Z;
- графический пользовательский интерфейс на основе ОС Windows;
- система контроля движения на основании локальной сети;
- программируемое перемещение по осям XYZ+поворот;
- система управления на основе ПК с монитором и "мышью";
- соответствие стандартам CE/NFPA 79;
- закрывающиеся двери с датчиками и цепями безопасности;
- щеточные сервопривода постоянного тока с замкнутой петлей контроля перемещения;
- привода X-Y на прецизионных шарико-винтовых парах;
- лазерный указатель для программирования;
- контроль вытяжки с цепью обеспечения безопасносного использования;
- емкость для растворителя и продувки/стравливания.
Система комплектуется головкой для нанесения покрытий, модель Ultra-Spray CAT-35 ILDS - Dual Mode в комплекте:
- ультразвуковая распылительная головка в сборе;
- ультразвуковой генератор;
- электромагнитный клапан для вкл/выкл потока жидкости;
- прецизионный регулятор воздушного потока.
Конфигурация системы подачи жидкости:
- прецизионный насос-дозатор с шаговым двигателем (вместимость помпы 100 мл);
- распылительный носик Whip Line - малый 062 Minstac;
- распылительный носик Whip Line - большой 156 Minstac.
Конфигурация машины:
- пневматически поворачиваемая на 90º двухрежимная УЗ-головка;
- ПК с плоским монитором и мышью;
- подогреваемая до +150°C плата 400 x 400 мм.
Примеры применения:
Нанесение паяльной маски на гибкие подложки (платы);
Нанесение серебросодержащего проводящего покрытия на кремниевую подложку;
Нанесение покрытий в производстве топливных ячеек;
Нанесение фоторезиста на кремниевую подложку.
