W1

W1

Оптический 3D профилометр поверхностей

Оптический 3D профилометр поверхностей

  • Безконтактное измерение не требующее разрушения объекта;
  • Интерференционные объективы различной степени увеличения;
  • Встроенная система гашения вибрации;

Применение в производстве

  • полупроводниковых компонентов;
  • MEMS компонентов;
  • 3D-MID компонентов;
  • дисплеев;
  • прецизионной оптики;
  • микро-нано материалов;
  • и др.

Характеристики

Размеры предметного столика: 320 × 200 мм;
Пределы перемещений предметного столика электроприводом: 140 × 100 мм;
Нагрузка на предметный столик: до 10 кг;
Стандартное статичное поле обзора: 0,49 × 0,49 мм;
Максимальное статичное поле обзора: 6 × 6 мм;
Отражательная способность объекта испытания: 0,05...100 %;
Повторяемость измерения шероховатости RMS: 0,005 нм;
Точность статического измерения: 0,7%;
Повторяемость статического измерения: 0,1% 1σ;
Габариты Д×Ш×В: 900 × 700 × 604 мм;
Вес: 150 кг.