Оптический 3D профилометр поверхностей
- Безконтактное измерение не требующее разрушения объекта;
- Интерференционные объективы различной степени увеличения;
- Встроенная система гашения вибрации;
Применение в производстве
- полупроводниковых компонентов;
- MEMS компонентов;
- 3D-MID компонентов;
- дисплеев;
- прецизионной оптики;
- микро-нано материалов;
- и др.
Характеристики
Размеры предметного столика: 320 × 200 мм;Пределы перемещений предметного столика электроприводом: 140 × 100 мм;
Нагрузка на предметный столик: до 10 кг;
Стандартное статичное поле обзора: 0,49 × 0,49 мм;
Максимальное статичное поле обзора: 6 × 6 мм;
Отражательная способность объекта испытания: 0,05...100 %;
Повторяемость измерения шероховатости RMS: 0,005 нм;
Точность статического измерения: 0,7%;
Повторяемость статического измерения: 0,1% 1σ;
Габариты Д×Ш×В: 900 × 700 × 604 мм;
Вес: 150 кг.